- 名称：GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
- 类型：其他标准
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- 更新时间：02-01 17:34:35
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《GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨》下载简介
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标准编号：GB/T 14601-2009
简体名称：电子工业用气体 氨
繁体名称：電子工業用氣體 氨
英文名称：Gas for electronic industry—Ammonia
标准简介：
本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。
本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化
